CDU智能液桶
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32BF-4M5P精密研磨拋光設備
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產品編號
數量
-
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產品描述
參數
一、產品用途
主要用于半導體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨，尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優勢。
二、安裝條件
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序號 |
項目 |
指標要求 |
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1 |
環境 |
室內地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染 |
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2 |
水源 |
純水或自來水 |
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3 |
電源 |
約70kW AC380V 50Hz（總功率） |
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4 |
氣源 |
壓縮空氣源 0.6Mpa，接口φ16mm（外徑） |
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5 |
溫度 |
10℃-25℃ |
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6 |
相對濕度 |
≤95% |
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7 |
外形尺寸（長x寬x高） |
3700x3000x4100mm（含地腳高度及電器柜尺寸） |
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8 |
主機重量 |
28000Kg |
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9 |
主機顏色 |
BH白或訂制 |
三、主要特點
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序號 |
項目 |
特點 |
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1 |
壓力控制 |
運動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現高精度壓力控制，上盤最大使用壓力1200Kg，精度可達2% |
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2 |
上盤調心 |
采用萬向節結構，調心靈活，承載力高 |
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3 |
上盤防落裝置 |
雙重機械鎖定，安全性更高 |
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4 |
高精度速度控制 |
自編程實現低速平穩、啟停同步運轉控制，內外齒圈采用伺服控制，速度控制更精準 |
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5 |
精密傳動系統 |
高精度小齒隙全齒輪傳動 |
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6 |
下盤支撐 |
高精度流體軸承支撐 |
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7 |
免維護設計 |
齒輪采用自動集中潤滑裝置，關鍵器件采用進口知名品牌，軸承留有潤滑接口 |
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8 |
強制散熱系統 |
軸流風機排熱方式，并預留抽風接口，用戶可自行連接 |
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9 |
清洗便捷 |
低臺面、半裸式接液盆 |
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10 |
同步升降 |
齒圈太陽輪同步升降，采用伺服電機拖動，可自動或手動調節高度，延長使用壽命 |
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11 |
游輪精確定位 |
齒圈太陽輪采用伺服電機拖動，可實現游輪的精確定位 |
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12 |
水液分離裝置 |
水液切換程序控制，自動分離，操作便捷，清洗水可自動排放 |
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13 |
整機減振 |
防振式結構設計安裝，設備更穩定 |
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14 |
防護設計 |
齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作，接液盆，托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍 |
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15 |
供液系統 |
桶體設有排污口，具備溫度、液位監測，具有加熱和冷卻功能，具有液泵和攪拌泵，出口設有過濾器，管路設有流量監測，能在線實時檢測流量 |
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16 |
自動測厚 |
設備裝有機械測厚系統，能在線實時檢測工件加工厚度 |
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17 |
分級管理 |
密碼分級管理，不同人員具有不同的操作權限 |
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18 |
工藝適用性 |
程序控制 |
可儲存多套工藝參數，每套工藝可達20步，工藝參數設置包括（壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等） |
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速比搭配 |
四電機獨立同步拖動，上下盤、內齒、外齒（即可正轉，也可反轉）轉速可任意設定，具有配方功能 |
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