CDU智能液桶
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S-16BF-2M5P精密雙面平面拋光機
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產品編號
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產品描述
參數
一、產品用途
光學玻璃、陶瓷、電子材料及硅片、鍺片、計算機磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度拋光加工，尤其適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。
二、主要特點
1.壓力精密控制：PLC+PT +低摩擦氣缸實現精密壓力控制;
2.上盤減震裝置：動靜態均適用的減振彈性連接方式;
3.精密傳動系統：高精度全齒輪傳動，高精度軸承支撐;
4.下盤支撐：高精度結構軸承支撐，提高設備的精度和運行平穩性;
5.免維護：關鍵器件采用國產品牌，冗余設計安全系數大;
6.強制散熱系統：采用軸流風機排熱方式，并預留抽風接口，用戶可自行連接
7.操作便捷：低臺面、半裸式接液盆便于清洗;下盤具有氣動升降功能，滿足了取放工件及調整游輪嚙合位置的要求
三、技術參數
| 序號 | 項目 | 規格參數 | |
| 1 | 下拋盤 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
| 轉速 | 3-60rpm | ||
| 2 | 上拋盤 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
| 3 | 上下盤驅動電機 | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm（變頻控制） | |
| 4 | 太陽輪驅動電機 | 2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm（變頻控制） | |
| 5 | 游星輪 | 參數 | 英制：DP12 Z=200 α=20° |
| 數量 | 5個 | ||
| 6 | 供液裝置 | 攪拌電機 | 120W，AC380V |
| 供液泵 | 1/4HP 容積約40L（雙層） | ||
| 7 | 精度指標 | 下拋盤端面跳動 | ≤0.05mm |
| 上、下拋盤平面度 | ≤0.02mm | ||
| 8 | 水源 | 純水或自來水 | |
| 9 | 電源 | 18.5kW AC380V 50Hz（總功率） | |
| 10 | 線纜規格 | 三相五線制．3×6mm2+2×4mm2 | |
| 11 | 氣源 | 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa，接口φ10mm（外徑） | |
| 12 | 外形尺寸 | 寬x長x高：1550mm×2000mm×2740mm | |
| 13 | 重量 | 約5500Kg | |
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